半導体、液晶パネル、ハードディスクなどの電子デバイス産業界では、加工寸法の微細化に伴いその製造環境の要求清浄度が一段と厳しくなっています。
住化分析センターでは、クリーンルーム、製造装置内などデバイス製造に関わるすべての環境における微量なケミカル汚染の状況を、独自の高感度な測定技術を用いて評価いたします。また、クリーンルーム構成材料、装置構成材料、製造原材料の評価を行うことで、ケミカル汚染の原因解析を総合的にサポートします。

分析メニュー

• クリーンルームエアのケミカル汚染分析
• 局所雰囲気中のケミカル汚染分析
• 高純度ガスの清浄度評価
• 高純度薬品の超微量不純物分析
• シリコン／ガラス基板の付着成分分析
• ケミカルフィルターのアウトガス・吸着成分分析